发明名称 METHOD OF MANUFACTURING INSULATION FOR ELEMENT OF INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 RU1111634(C) 申请公布日期 1996.04.10
申请号 SU19823501668 申请日期 1982.10.20
申请人 MANZHA N.M.;YACHMENEV V.V.;KOKIN V.N.;SULIMIN A.D.;SHURCHKOV I.O. 发明人 MANZHA N.M.;YACHMENEV V.V.;KOKIN V.N.;SULIMIN A.D.;SHURCHKOV I.O.
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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