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Method for determining the instantaneous effective position of a probe or a tool supported by a carrier
摘要
申请公布号
EP0537641(B1)
申请公布日期
1996.04.10
申请号
EP19920117289
申请日期
1992.10.09
申请人
FIRMA CARL ZEISS;CARL-ZEISS-STIFTUNG, HANDELND ALS CARL ZEISS
发明人
BREYER, KARL-HERMANN, DR.;AUBELE, EUGEN;EBERSBACH, PETER, DR.;GRUPP, GUENTER;WIEDMANN, WOLFGANG
分类号
G01B21/00;G01B11/00;G12B5/00;(IPC1-7):G01B11/00
主分类号
G01B21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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