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发明名称 SUBSTRATE CARRIER SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH0897266(A) 申请公布日期 1996.04.12
申请号 JP19940261844 申请日期 1994.09.29
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 HASHIMOTO HAJIME
分类号 H01L21/677;B25J9/02;B65G49/07;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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