| 发明名称 |
METHOD OF PERFORMING LOW-ENERGY PLASMA CLEANING OF CRYOGENICFILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0892767(A) |
申请公布日期 |
1996.04.09 |
| 申请号 |
JP19950107681 |
申请日期 |
1995.05.01 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT CO |
发明人 |
BARETSUTO RIPII;DARERU EE GUREICHIYAFU;UERUDON ESU UIRIAMUSON |
| 分类号 |
H05H1/24;B64G1/66;C23F4/00;C23G5/00;G02B5/08;G02B23/00;G02B27/00;(IPC1-7):C23F4/00 |
主分类号 |
H05H1/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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