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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0892736(A) 申请公布日期 1996.04.09
申请号 JP19940235206 申请日期 1994.09.29
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 TAKAHASHI SHINGO
分类号 C23C14/34;C23C14/35;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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