| 发明名称 |
FORMATION OF CRYSTALLINE SILICON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0891994(A) |
申请公布日期 |
1996.04.09 |
| 申请号 |
JP19940221778 |
申请日期 |
1994.09.16 |
| 申请人 |
OSAKA GAS CO LTD |
发明人 |
INOUE NAOKI;MORIKAWA SHIGERU;TAKAGI TAKESHI |
| 分类号 |
C30B28/14;C30B29/06;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B28/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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