Feinbearbeitungsmethode für kristallines Material,申请号DE19896025774-传众专利搜索

发明名称	Feinbearbeitungsmethode für kristallines Material
摘要
申请公布号	DE68925774(D1)	申请公布日期	1996.04.04
申请号	DE19896025774	申请日期	1989.09.29
申请人	CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	WATANABE, NOBUO, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;TSUKAMOTO, TAKEO, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;TAKEDA, TOSHIHIKO, TOKYO, JP;ONO, HARUHITO, MINAMI ASHIGARA-SHI KANAGAWA-KEN, JP;OKUNUKI, MASAHIKO, NISHI TAMA-GUN TOKYO, JP
分类号	H01L21/302;C23F1/02;H01L21/306;(IPC1-7):C23F1/02	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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