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发明名称
LDD Metalloxyd-Halbleiter-Feldeffekttransistor und Verfahren zur Herstellung.
摘要
申请公布号
DE69111203(T2)
申请公布日期
1996.04.04
申请号
DE19916011203T
申请日期
1991.12.02
申请人
NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
OKABE, KAZUHIRO, C/O NEC CORPORATION, TOKYO 108-01, JP;SAKAI, ISAMI, C/O NEC CORPORATION, TOKYO 108-01, JP
分类号
H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/772
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
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