发明名称 Sensor für die Kontrolle des Fabrikationsprozesses einer Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE69117480(D1) 申请公布日期 1996.04.04
申请号 DE19916017480 申请日期 1991.12.30
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US 发明人 MOSLEHI, MEHRDAD M., DALLAS, TEXAS 75248, US
分类号 C23C14/54;G01B11/06;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/956;G03F7/20;G06F19/00;H01L21/00;H01L21/66;H01L21/68;(IPC1-7):G01B11/30 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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