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发明名称
Verfahren und Vorrichtung zur Dekontaminierung durch Ionenätzen.
摘要
申请公布号
DE69111671(T2)
申请公布日期
1996.04.04
申请号
DE19916011671T
申请日期
1991.04.25
申请人
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS, FR
发明人
BOSCH, PHILIPPE, F-38950 ST. MARTIN LE VINOUX, FR;MAUREL, JEAN-JOSEPH, F-92160 ANTONY, FR
分类号
G21F9/28;B08B7/00;C23G5/00;G21F9/00;(IPC1-7):G21F9/00
主分类号
G21F9/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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