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发明名称 Verwendung einer selektiven Epitaxie für BiCMOS-Verfahren.
摘要
申请公布号 DE3751402(T2) 申请公布日期 1996.04.04
申请号 DE19873751402T 申请日期 1987.10.06
申请人 FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORP., CUPERTINO, CALIF., US 发明人 HOWELL, PAUL F., FEDERAL WAY WASHINGTON 98023, US
分类号 H01L21/02;H01L21/331;H01L21/762;H01L21/8238;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/82 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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