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发明名称
An improved electrode structure for capacitive position sensors.
摘要
申请公布号
EP0676623(A3)
申请公布日期
1996.04.03
申请号
EP19950201826
申请日期
1990.05.30
申请人
MITUTOYO CORPORATION
发明人
ANDERMO, NILS INGVAR
分类号
G01B7/00;G01D5/24;G01D5/241;(IPC1-7):G01D5/24
主分类号
G01B7/00
代理机构
代理人
主权项
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