| 发明名称 |
Isolated electrostatic chuck and excitation method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0552877(B1) |
申请公布日期 |
1996.04.03 |
| 申请号 |
EP19930300161 |
申请日期 |
1993.01.11 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
COLLINS, KENNETH S.;GRITTERS, EDWARD ALLEN |
| 分类号 |
B23Q3/15;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/683;H02N13/00;(IPC1-7):H01L21/00;B61D39/00 |
主分类号 |
B23Q3/15 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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