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发明名称 Radiation-sensitive resin composition
摘要
申请公布号 EP0428398(B1) 申请公布日期 1996.04.03
申请号 EP19900312411 申请日期 1990.11.14
申请人 JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO., LTD. 发明人 YUMOTO, YOSHIJI;SHIMOKAWA, TSUTOMU;MIURA, TAKAO
分类号 G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
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