| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0888262(A) |
申请公布日期 |
1996.04.02 |
| 申请号 |
JP19940222006 |
申请日期 |
1994.09.16 |
| 申请人 |
NIPPONDENSO CO LTD;RES DEV CORP OF JAPAN |
发明人 |
HASEBE YUJI;OSHIMA HISAZUMI |
| 分类号 |
F24F7/06;H01L21/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
F24F7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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