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发明名称
METHOD FOR REMOVING FOREIGN MATTERS ADHERING TO SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
JPH0888207(A)
申请公布日期
1996.04.02
申请号
JP19940247336
申请日期
1994.09.14
申请人
NITTO DENKO CORP;HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD
发明人
CHIKADA YASU;MIKI KAZUYUKI;MATSUMURA TAKESHI;KUREISHI YOSHINORI;ISHIKAWA TSUTOMU;TAKADA HITOSHI
分类号
B08B7/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
B08B7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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