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发明名称 LASER TREATMENT METHOD
摘要
申请公布号 JPH0888196(A) 申请公布日期 1996.04.02
申请号 JP19950206551 申请日期 1995.07.20
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 CHIYOU KOUYUU;TANAKA KOICHIRO
分类号 H01L21/20;H01L21/268;H01S3/00;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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