| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN FILM OF ORGANIC MOLECULE AND PRODUCTION OF THIN FILM PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0885864(A) |
申请公布日期 |
1996.04.02 |
| 申请号 |
JP19940225153 |
申请日期 |
1994.09.20 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
FUCHIGAMI HIROYUKI;KURATA TETSUYUKI;NOBUTOKI EIJI;HAMANO KOJI;KUBOTA SHIGERU |
| 分类号 |
C23C14/12;(IPC1-7):C23C14/12 |
主分类号 |
C23C14/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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