发明名称 |
FET USING HYDROGEN TERMINATED HOMOEPITAXIAL DIAMOND AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0888235(A) |
申请公布日期 |
1996.04.02 |
申请号 |
JP19940221275 |
申请日期 |
1994.09.16 |
申请人 |
TOKYO GAS CO LTD |
发明人 |
KAWARADA HIROSHI;AOKI MAKOTO;ITO MASAHIRO |
分类号 |
C30B25/00;H01L21/205;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 |
主分类号 |
C30B25/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|