发明名称 FET USING HYDROGEN TERMINATED HOMOEPITAXIAL DIAMOND AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0888235(A) 申请公布日期 1996.04.02
申请号 JP19940221275 申请日期 1994.09.16
申请人 TOKYO GAS CO LTD 发明人 KAWARADA HIROSHI;AOKI MAKOTO;ITO MASAHIRO
分类号 C30B25/00;H01L21/205;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 C30B25/00
代理机构 代理人
主权项
地址