| 发明名称 |
PIEZOELECTRIC ELEMENT USING METAL SUPERTHIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0888418(A) |
申请公布日期 |
1996.04.02 |
| 申请号 |
JP19940297194 |
申请日期 |
1994.11.30 |
| 申请人 |
FUMEI |
发明人 |
RI SEISAI;BOKU KIYOUKAN;SHIN MINTETSU |
| 分类号 |
H01L41/08;H01L29/84;H01L41/00;(IPC1-7):H01L41/08 |
主分类号 |
H01L41/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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