| 发明名称 |
SUBSTRATE END EDGE WASHING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0887005(A) |
申请公布日期 |
1996.04.02 |
| 申请号 |
JP19940223746 |
申请日期 |
1994.09.19 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
OKAMOTO TADAO;HIRAYAMA YOSHINOBU |
| 分类号 |
G02F1/1333;B08B3/04;H01L21/304;(IPC1-7):G02F1/133 |
主分类号 |
G02F1/1333 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
