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发明名称 INTEGRATED SPM SENSOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0886794(A) 申请公布日期 1996.04.02
申请号 JP19940244866 申请日期 1994.09.14
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 TAKAYAMA MICHIO
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q20/04;G01Q60/06;G01Q60/22;G01Q60/38;G01Q70/16;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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