发明名称 INTERFERENCE-TYPE FILM THICKNESS SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0886619(A) 申请公布日期 1996.04.02
申请号 JP19940248582 申请日期 1994.09.16
申请人 CANON SALES CO INC 发明人 SOMEYA ATSUSHI;FUJISHITA HIROKI
分类号 G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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