| 发明名称 |
PRODUCTION OF SPATIAL LIGHT-MODULATING ELEMENT AND AMORPHOUS SILICON PHOTOSENSITIVE BODY OF THE ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0887023(A) |
申请公布日期 |
1996.04.02 |
| 申请号 |
JP19940223158 |
申请日期 |
1994.09.19 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
YOSHINO KUNIHIKO;SHIMIZU ISAMU |
| 分类号 |
G02F1/135;C01B33/02;C01B33/027;C23C16/24;C23C16/50;H01L31/0248;(IPC1-7):G02F1/135;H01L31/024 |
主分类号 |
G02F1/135 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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