| 发明名称 |
INSTRUMENT AND METHOD FOR MEASURING ATTITUDE OF OBJECT, ATTITUDE CONTROLLER, AND DEVICE FOR INSPECTING SURFACE OF OBJECT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0886631(A) |
申请公布日期 |
1996.04.02 |
| 申请号 |
JP19950185585 |
申请日期 |
1995.07.21 |
| 申请人 |
TORAY IND INC |
发明人 |
TAKAHASHI OSAMU;KITAGAWA KATSUICHI;YAMAMOTO HISASHI |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/26;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/95;G05D3/12;(IPC1-7):G01B11/26 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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