发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0885872(A) 申请公布日期 1996.04.02
申请号 JP19940225293 申请日期 1994.09.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKADA KIYOSHI;ITO HIROMOTO;IIDA TOSHIKAZU
分类号 C23C14/56;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
地址