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经营范围
发明名称
FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0885872(A)
申请公布日期
1996.04.02
申请号
JP19940225293
申请日期
1994.09.20
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
TAKADA KIYOSHI;ITO HIROMOTO;IIDA TOSHIKAZU
分类号
C23C14/56;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/56
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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