PROCEDIMIENTO PARA LA FABRICACION DE ESTRUCTURAS EN FORMA DE CUÑA.

摘要

SE SABE QUE PARA LA GENERACION DE UN GROSOR DEFINIDO EN UNA GUIA DE ONDAS OPTICAS HAY QUE PASAR UNA TAPA CON UNA DETERMINADA VELOCIDAD NO UNIFORME SOBRE EL SUBSTRATO. CON ESTE PROCEDIMIENTO SOLO SE PUEDEN PRODUCIR GUIAS DE GRANDES SUPERFICIES Y SOLO UNA GUIA POR CADA SUBSTRATO. SE DEBE INDICAR UNA POSIBILIDAD CON LA QUE SE PUEDAN FABRICAR SOBRE UN SUBSTRATO VARIAS GUIAS DE ONDAS OPTICAS. PARA ELLO SE CORROE, EROSIONA O RECUBRE UN SUBSTRATO EN UN PROCESO DE ELABORACION MEDIANTE RADIACION Y SE MODIFICA LA DENSIDAD DE LA RADIACION O EL TIEMPO DE ACCION POR SUPERFICIE ENTRE DOS EXTREMOS DE CADA ESTRUCTURA A FABRICAR. ESTE SE PUEDE PRODUCIRSE P.J. CON UNA TAPA (2), QUE PASA CON UNA VELOCIDAD CONSTANTE SOBRE UN SUBSTRATO (6), Y UNA MASCARA (4) FIJA, QUE SE COLOCA SOBRE EL SUBSTRATO Y PRESENTA ORIFICIOS (5), EN LOS PUNTOS EN LOS QUE DEBEN FORMARSE LAS GUIAS DE ONDAS OPTICAS. LA TAPA (2) MUEVE POR ENCIMA O DEBAJO DE LA MASCARA (4) DE MODO QUE LOS EXTREMOS OPUESTOS DEL SUBSTRATO (6) VISIBLE A TRAVESDE LOS ORIFICIOS (5) ESTAN EXPUESTO A UN PROCESO DE ELABORACION DE DURACION DIFERENTE. EL PROCESO DE ELABORACION PUEDE SER, POR EJEMPLO, UN PROCESO CORROSIVO EN SECO PERO TAMBIEN UN PROCESO A APLICAR O EVAPORAR UNA CAPA SOBRE EL SUBSTRATO (6). SE FORMAN CAVIDADES VAPORIZADAS EN FORMA DE CUÑA (7) O ESTRUCTURAS EN FORMA CUÑA (8) QUE POR UN PROCESO DE CORROSION SIGUIENTE BAJO LA APLICACION DE LA MASCARA (4) SE CONVIERTEN EN CAVIDADES (7) EN FORMA DE CUÑA.