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发明名称 Projektionsbelichtungsvorrichtung.
摘要
申请公布号 DE68924667(T2) 申请公布日期 1996.03.28
申请号 DE19896024667T 申请日期 1989.05.12
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KAWASHIMA, HARUNA, KAWASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;SUZUKI, AKIYOSHI, MEGURO-KU TOKYO, JP;MURAKI, MASATO, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 G03F9/00;G03F9/02;(IPC1-7):G03B41/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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