发明名称 Belichtungsvorrichtung.
摘要
申请公布号 DE69023186(T2) 申请公布日期 1996.03.28
申请号 DE19906023186T 申请日期 1990.08.06
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KUROSAWA, HIROSHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;UDA, KOJI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;OZAWA, KUNITAKA, C/O CANON KABUSHIKI KAISH, OHTA-KU, TOKYO, JP;UZAWA, SHUNICHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISH, OHTA-KU, TOKYO, JP;MIZUSAWA, NOBUTOSHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;SUDA, SHIEGEYUKI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;NOSE, NORIYUKI, C/O CANON KABUSHIKI KAISH, OHTA-KU, TOKYO, JP;KARIYA, TAKAO, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号 G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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