发明名称 Lichtempfindliche Harzzusammensetzung zum Herstellen eines Polyimidfilmmusters.
摘要
申请公布号 DE69113900(T2) 申请公布日期 1996.03.28
申请号 DE1991613900T 申请日期 1991.07.03
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 MIKOGAMI, YUKIHIRO, C/O INTELLECTUAL PTY. DIVISION, MINATO-KU, TOKYO 105, JP;HAYASE, SHUZI, C/O INTELLECTUAL PTY. DIVISION, MINATO-KU, TOKYO 105, JP;NAKANO, YOSHIHIKO, C/O INTELLECTUAL PTY. DIVISION, MINATO-KU, TOKYO 105, JP
分类号 C08G73/10;C08G77/455;C08K5/541;G03F7/075;(IPC1-7):G03F7/075 主分类号 C08G73/10
代理机构 代理人
主权项
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