发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung von funktionellen aufgedampften Filmen grosser Oberfläche mittels Mikrowellen-Plasma CVD.
摘要
申请公布号 DE69022664(T2) 申请公布日期 1996.03.28
申请号 DE1990622664T 申请日期 1990.06.27
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ECHIZEN, HIROSHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO, JP;FUJIOKA, YASUSHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO, JP;NAKAGAWA, KATSUMI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO, JP;KANAI, MASAHIRO, C/O CANON KABUSHIKI KAISH, TOKYO, JP;KARIYA, TOSHIMITSU, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO, JP;MATSUYAMA, JINSHO, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO, JP;TAKEI, TETSUYA, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, TOKYO, JP
分类号 C23C16/50;H01J37/32;H01L31/20;(IPC1-7):C23C16/50;C23C16/54 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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