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发明名称
Process for forming deposited film and process for producing semiconductor device
摘要
申请公布号
EP0420590(B1)
申请公布日期
1996.03.27
申请号
EP19900310501
申请日期
1990.09.25
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
MATSUMOTO, SHIGEYUKI;IKEDA, OSAMU;OHMI, KAZUAKI
分类号
H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320
主分类号
H01L21/285
代理机构
代理人
主权项
地址
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