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发明名称 Wafer notch dimension measuring apparatus.
摘要
申请公布号 EP0674345(A3) 申请公布日期 1996.03.27
申请号 EP19950301310 申请日期 1995.02.27
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 发明人 SHIMOYAMA, SHIGETOSHI;ARAMAKI, KANEYOSHI
分类号 G01B11/02;G01B11/26;H01L21/66;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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