薄膜剥离方法及其装置

摘要

本发明目的是自动地从衬底剥离一端部从衬底露出地贴着的薄膜。其构成是由吸附装置16的转盘16B吸住由进给装置24送过来的衬底12，使其在水平面内旋转，并使薄膜11的一端部14A与待机状态的剥离手18相对，通过剥离手18夹住该一端部14A，就这样在垂直面内旋转，并且利用剥离手进给装置20隔着衬底进给路线24把薄膜14送至另一侧的堆积装置22上面，从衬底剥下薄膜14，通过堆积装置22依次堆积上述薄膜。

主权项

1.一种薄膜剥离方法，剥离其一端部从衬底一端露出且贴在该衬底上的薄膜，其特征在于具有以下工序：吸住前述衬底进行定位；利用与薄膜一端部平行的剥离手(ピ-ルハンド)，夹持从已定位的衬底露出的薄膜的一个端部；在夹持着薄膜一个端部使该剥离手与衬底垂直的面内，以衬底面附近为圆弧中心，一边朝着前述圆弧中心调节剥离手位置，一边从衬底面离开，并且向衬底另一端方向作使薄膜一个端部向上卷起的圆弧运动；由剥离手夹持着卷起的薄膜的一个端部向衬底的另一端方向移动，进而超过前述另一端，薄膜的另一端部至少从衬底到剥离位置并向衬底外输送；在衬底外位置放开前述薄膜。