发明名称 带有多层连接的电子封装件
摘要 一种用于电子封装件的电路化衬底,其中的衬底(例如陶瓷)上包括一个以上由合适的介电材料例如聚酰亚胺分隔开的导电层(例如铜),各层包括其自身的各接触位置,它们用例如焊料来直接电连接到置于衬底上形成最终封装件一部分的半导体芯片的相应接触点。还提供了一种制造这种封装件的方法。值得注意的是,这样得到的封装件不含有导电层之间在所需接触位置处的互连,而是这类接触位置与芯片直接连接。
申请公布号 CN1119342A 申请公布日期 1996.03.27
申请号 CN95104003.0 申请日期 1995.04.07
申请人 国际商业机器公司 发明人 罗伯特·李·路易斯;罗伯特·大卫·塞伯斯塔;丹尼尔·马丁·韦茨
分类号 H01L21/48;H01L23/15;H01L21/60 主分类号 H01L21/48
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王以平
主权项 1.一种制造适合于电连接到电子器件的电路化衬底的方法,所述方法包括:提供一个带有一第一表面的衬底;在上述衬底的上述第一表面上提供一个第一电路图形,上述图形至少包括一个接触位置;用一层介电材料把上述包括上述接触位置的第一电路图形基本覆盖起来;在上述介电材料层上提供一个第二电路图形,上述第二电路图形至少包括一个接触位置;清除至少一部分的上述介电材料层以暴露出上述第一电路图形的所述接触位置,上述第一和第二电路图形的所述接触位置被暴露出来且位于相对于上述衬底的上述第一表面的不同高程处,上述接触位置适合于分别与上述电子器件直接电连接。
地址 美国纽约