发明名称 | 晶体管及制造该晶体管的方法 | ||
摘要 | 一种用特有的方法制造的晶体管,该方法包含在形成栅极之前形成源极/漏极区,然后形成与源极/漏极接触但与栅极绝缘的源极/漏极接区,该晶体管包含MOSFET结构,在该结构中,在半导体基片上的两个相同的导体彼此相隔一预定距离,在各导体下方以与它电连接的方式形成源极/漏极扩散区,在两者之间的半导体基片上形成栅极氧化膜,栅极延伸到两分开的导体之上方,但与之绝缘。它确保了足够的掩模定位容差,并有广泛的应用,不仅应用于晶体管,还可应用于DRAM和SRAM。 | ||
申请公布号 | CN1119348A | 申请公布日期 | 1996.03.27 |
申请号 | CN95107291.9 | 申请日期 | 1995.07.20 |
申请人 | 现代电子产业株式会社 | 发明人 | 朴星昱 |
分类号 | H01L29/78;H01L21/336 | 主分类号 | H01L29/78 |
代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 陈亮 |
主权项 | 1.一种晶体管,包含MOSFET结构,其特征在于,在半导体基片上的两个相同的导体彼此相距一预定距离,在各导体下方以与导体电连接的方式形成源极/漏极扩散区,在两者之间的半导体基片上形成一栅极氧化膜,栅极延伸到两个独立的导体上方但与它们相绝缘。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |