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发明名称 Process for the recrystallization of a pre-amorphized superficial zone of a semi-conductor
摘要
申请公布号 EP0485830(B1) 申请公布日期 1996.03.27
申请号 EP19910118708 申请日期 1991.11.02
申请人 TEMIC TELEFUNKEN MICROELECTRONIC GMBH 发明人 HEFNER, HEINZ-ACHIM;IMSCHWEILER, JOACHIM;SEIBT, MICHAEL, DR.
分类号 H01L21/20;H01L21/265;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/324;H01L21/18 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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