发明名称
摘要
申请公布号 JPH0831418(B2) 申请公布日期 1996.03.27
申请号 JP19890091651 申请日期 1989.04.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址