发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH0882689(A) 申请公布日期 1996.03.26
申请号 JP19940217033 申请日期 1994.09.12
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SAITO FUSAO;OKUYAMA TOSHIHISA;SUZUKI YASUO
分类号 G21B1/11;G21B1/00;H01J27/14;H01J37/08;H05H1/22;(IPC1-7):G21B1/00 主分类号 G21B1/11
代理机构 代理人
主权项
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