| 发明名称 |
TESTING EQUIPMENT OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0882653(A) |
申请公布日期 |
1996.03.26 |
| 申请号 |
JP19940218614 |
申请日期 |
1994.09.13 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SADA YUTAKA;FURUHASHI KAZUNORI;SASAKI TOMIYA;IWASAKI HIDEO |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;H05K7/20;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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