| 发明名称 |
ELECTRON BEAM DRAWING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0883740(A) |
申请公布日期 |
1996.03.26 |
| 申请号 |
JP19940219036 |
申请日期 |
1994.09.13 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HAYATA YASUNARI;SOMETA YASUHIRO;OKUMURA MASAHIDE;ANDO MASAAKI;ITO HIROYUKI;MIYATA MASAYORI |
| 分类号 |
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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