| 发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR MINIMIZING STAGNATION OF LIQUID ANDGENERATING DRIED STEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0882402(A) |
申请公布日期 |
1996.03.26 |
| 申请号 |
JP19950090861 |
申请日期 |
1995.04.17 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
PIITAA EFU EBUINGU;KIEN ENU CHIYUKU |
| 分类号 |
B01D1/30;F22B1/28;F28F19/01;H01L21/304;(IPC1-7):F22B1/28 |
主分类号 |
B01D1/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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