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发明名称 REDUCED-PRESSURE TREATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0883771(A) 申请公布日期 1996.03.26
申请号 JP19940215935 申请日期 1994.09.09
申请人 TOSHIBA MACH CO LTD 发明人 GOTO TAISAN
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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