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发明名称 TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0883759(A) 申请公布日期 1996.03.26
申请号 JP19940240806 申请日期 1994.09.09
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK;IWAKI:KK 发明人 FUJIMOTO AKIHIRO;TAKEKUMA TAKASHI;SONOBE KIYOMI
分类号 G03F7/16;B05C5/00;B05C11/08;B05C11/10;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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