| 发明名称 |
PRODUCTION OF PHASE SHIFT DIFFRACTION GRATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0882704(A) |
申请公布日期 |
1996.03.26 |
| 申请号 |
JP19940242148 |
申请日期 |
1994.09.09 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
NAKANISHI MASAHIRO;NOJIRI HIDEAKI;MISHIMA SEIJI |
| 分类号 |
G02B5/18;H01S5/00;(IPC1-7):G02B5/18;H01S3/18 |
主分类号 |
G02B5/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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