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发明名称 FILM THICKNESS MONITORING CONTROL METHOD
摘要
申请公布号 JPH0882517(A) 申请公布日期 1996.03.26
申请号 JP19940217524 申请日期 1994.09.12
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 ITO ATSUSHI
分类号 G01B17/02;C23C14/54;(IPC1-7):G01B17/02 主分类号 G01B17/02
代理机构 代理人
主权项
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