发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0883899(A) 申请公布日期 1996.03.26
申请号 JP19940219801 申请日期 1994.09.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATO YUTAKA;SAITO KATSUAKI;ISHIKAWA KATSUMI;TAKADA MASANORI
分类号 H01L29/74;(IPC1-7):H01L29/74 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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