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发明名称
SURFACE TREATMENT OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH0881776(A)
申请公布日期
1996.03.26
申请号
JP19940219979
申请日期
1994.09.14
申请人
SEKISUI CHEM CO LTD
发明人
YUASA MOTOKAZU;KAWAI SHIGEMASA
分类号
C23C16/22;C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/50
主分类号
C23C16/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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