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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0883838(A) 申请公布日期 1996.03.26
申请号 JP19940215647 申请日期 1994.09.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SATO TSUKASA
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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