发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0883902(A) |
申请公布日期 |
1996.03.26 |
申请号 |
JP19940215843 |
申请日期 |
1994.09.09 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
HAYAFUJI AKIO;YAMAMOTO YOSHITSUGU |
分类号 |
H01L29/812;H01L21/285;H01L21/324;H01L21/335;H01L21/338;H01L29/778;(IPC1-7):H01L29/778 |
主分类号 |
H01L29/812 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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